Speaker
蟹屋敷 祐介
(金沢大学)
Description
FE-SEM（電界放出形走査電子顕微鏡）は、電子ビームの照射による二次電子や反射電子により撮像を行う。その際、低加速では物体表面、高加速では内部の観察が可能となる。本検討では、電子加速度の異なる画像から、物体表面と内部の両方を観察できる画像を合成する手法を開発した。開発手法は、画像のエッジと焦点合成の技術を用いており、表面・内部両方を良好に観察できる合成画像が生成できることを確認した。
